百级洁净度规则要求每立方米空气中20.5um的颗粒物≤3,520个(对应IS05级)，需经过高效过滤器(HEPA/ULPA)和FFU(风机过滤单元)来完成空气过滤，保证气流均匀分布，防止涡流或死角。

  防静电办法:选用防静电地板、工作台、离子风机等，削减静电对零部件的损害。

  墙面/天花板运用彩钢板或不锈钢板，地上选用环氧自流平或防静电PVC地板，保证无尘、易清洁。

  FFU+高效过滤器:掩盖洁净区顶棚，保证空气循环过滤功率99.99%。

  基础建设(地上、墙面、天花板)→装置进化设备(FFU、空调)→装饰密封→设备调试。

  设备费用:FFU+高效过滤器约3000-4000元/㎡，清洗/干燥设备等。

  经过以上规划，可保证生产线在百级洁净度下高效运转，满意半导体中心零部件的高标准清洗与封装需求详细施行时主张咨询专业净化工程公司(如合洁科技)进行定制化规划。